光学镀膜的膜应力对脱膜的影响

光学薄膜的膜应力

压缩应力

抗拉应力

常规镀膜设备的膜应力

1. VD机：基本上的物质都是抗拉应力（凹面），SIO2是强压缩应力（凸面）；

2. IP机：基本上的物质都是压缩应力（凸面）；

3. IAD机：基本上的物质都是压缩应力（凸面）；

4. RAS溅镀机：基本上的物质都是压缩应力。

下面分别说明

另外，发生脱膜、裂纹等不良时，考虑这些内容也能找出真正原因而进行长久的对策。