光学薄膜的膜应力压缩应力抗拉应力常规镀膜设备的膜应力1. VD机：基本上的物质都是抗拉应力（凹面），SIO2是强压缩应力（凸面）；2. IP机：基本上的物质都是压缩应力（凸面）；3. IAD机：基本上...